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干式真空泵
為制造半導(dǎo)體、平板顯示器、LED、太陽能電池提供不可或缺的無塵環(huán)境。 CMP裝置令半導(dǎo)體的微細(xì)化成為可能,以滿足電腦、智能手機(jī)、數(shù)字家電,以及汽車的高功能化。在**半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,荏原承擔(dān)起推動(dòng)日新月異的技術(shù)發(fā)展的重任,發(fā)揮著重要作用。
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